关键词:
光电子能谱
密度泛函理论
光电离
电离能
电子激发态
摘要:
三氯化硼(BCl3)作为一种重要的刻蚀气体,其电离解离性质以及相关精准物理化学参数对于其工业应用都具有重要的参考价值。BCl3+离子的基态和电子激发态的光谱和动力学研究由来已久,相关实验和理论数据也比较充分,但相对于离子基态X2A2'态而言,BCl3+离子C2A2"态的研究相对较少且基本集中于实验测量方面,相关的理论计算和机理研究不足,尤其是绝热电离能和实验电子能谱的标识尚未得到可靠的结果。本文中,我们应用密度泛函理论对BCl3+离子C2A2"态的电子能谱进行了深入研究。在aug-cc-pvtz基组下,分别使用PBEO、ωB97XD、M06-2X三种泛函水平下优化了中性BCl3分子、BCl3+离子基态X2A2'以及C2A2"态的分子结构,并计算了相应振动频率和电离过程BCl3(X1A1)→BCl3+(C2A2")跃迁的Franck-Condon因子,从而得到了该跃迁对应的拟合电子能谱。针对中性BCl3分子、BCl3+离子基态X2A2'以及C2A2"态,从优化的结构中得到分别的轨道电子云分布情况、优化结构的键长键角、振动模式及对应频率数值。继而计算的电离过程BCl3(X1A1)→BCl3+(C2A2")跃迁的Franck-Condon因子更具体的给出了 BCl3+离子C2A2"态从中性BCl3分子形成过程中振动激发所对应的振动模式。电子云分布情况、键长键角变化情况以及Franck-Condon拟合给出的振动激发对应振动模式,此三者之间的匹配情况使得计算结果有了很好的自洽。最终,通过对已有高分辨的实验电子能谱的分析,我们选择其中相对合适的实验能谱与BCl3+离子C2A2"态经上述计算得到的拟合电子能谱进行对比,我们得到了对BCl3+离子C2A2"态的实验光谱满意的光谱拟合,并对实验振动序列做了清晰可靠的归属,进而得到了 BCl3+离子C2A2"态的绝热电离能(Adiabatic ionization energy,AIE)和垂直电离能(Vertical ionization energy,VIE),分别是AIE(BCl3+,C2A2")=14.298±0.028eV,VIE(BCl3+,C2A2")=14.405±0.028 eV,从而修正了以往实验测量电离能的错误结论。